2025
08-15
08-15
院士团队领衔 国产首台28nm关键尺寸电子束量测量产设备出机 NEW
快科技8月15日消息，来自无锡高新区管委会的公告显示，今天国产首台28纳米关键尺寸电子束量测量产设备在锡成功出机。次出机的28纳米关键尺寸电子束量测量产设备，由无锡亘芯悦科技有限公司自主研制，在电子光学系统、运动平台、电子电路和软件等方向实现了完全自研，能有效解决我国半导体量检测领域关键核心难题，对于填补我国集成电路产业关键环节空白、提高国产芯片高端装备自主可控水平具有里程碑意义。据了解，电子束晶圆量检测设备是芯片制造领域除光刻机外，技术难度最大、重要程度最高的设备之一。院士...
Read More >