2026
08-10
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为第三代半导体产业而生！国产光刻机获行业头部客户重复订单：已获验证 可大规模使用了！ NEW
快科技8月10日消息，国产光刻设备赛道传来重磅利好突破。上海芯上微装科技股份有限公司正式对外宣布，近日公司自主研发的350nm步进投影光刻机（AST6200），已经顺利通过国内化合物半导体领域头部客户的全流程工艺验证，并且拿到了批量重复采购订单，正式从研发落地阶段走向商业化批量交付。早在2025年11月，这家企业自主研发的首台350nm步进光刻机AST6200就完成了全部出厂调试与验收流程，正式启程发往合作客户的生产现场。很多人第一时间会把这台设备和传统硅基芯片的先进制程光刻...
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快科技8月9日消息，毫无疑问，我国正在发力光刻机，而先进制程的7nm工艺早晚会被攻克，目前全产业链都在集体发力。据上海芯上微装科技股份有限公司（简称“芯上微装”或“AMIES”）发布公告，公司昨天举办了第500台步进光刻机交付仪式，这标志着我国高端半导体装备产业迈上新的台阶。芯上微装称，先进封装光刻机是AMIES的拳头产品，具备高分辨率、高套刻精度、超大曝光视场等显著特点，具有强大的翘曲和厚胶处理能力，可根据客户的具体工艺需求灵活配置设备。该类产品能够满足Flip-chip、...